HF700DL-II型類金剛石沉積設備

（應用于紅外光學器件）

真空室：臥式頂蓋升降，內(nèi)腔Φ700×500mm，,304不銹鋼

真空系統(tǒng)：直聯(lián)泵+F250分子泵

極限真空：2.0E-4pa

恢復真空：大氣至5.0E-3pa≤15min

?????????Φ450mm水冷銅陰極靶和304陽極靶，靶間距（100-300mm）可上下調(diào)節(jié)

電源：進口RF（13.56MHz）電源，2.5KW可調(diào)

充氣系統(tǒng)：2個前級儲氣瓶，2個后級混氣瓶，配壓力表；4路進氣，流量控制及壓強控制

溫度測量：樣品及陰極靶2套

操作系統(tǒng)：可自動和手動操作，工藝參數(shù)設置，完善的水電檢測報警功能